半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
业务视频背景
该厂家公司为欧洲顶尖的半导体正确处理器测封厂家公司,处在珠角形省市,包括开始一个正确处理器的划区和装封自测。原因本地环保性追求标准,厂家公司而定快速执行化工废水零废气工程好项目。好项目于2030年重启,202两年6月建设投入运营,正确处理占比为200吨/日,总注资约2000万美金。
化工废水的成分及主要来源
本次的小学划片废水处理工艺具备低于优点和缺点:
高含量氟化物,基本源于晶圆切除后的除污环节,氟铝离子含量万代高达150-200mg/L
有纳米级级硅粉粒状,粒度多在100-500nm区间内
有机物强度较高,COD在500-800mg/L
含进样器高价属如铅、镉等
纯水电导率高,一般在2000-3000μS/cm
治疗工艺的流程的流程
为体现0排放量最终目标,工艺设备设汁侧重考量生活污水种类整理和产品回收分类处理:
废水处理工艺细分抽取机系统
:将含氟工业废水处理工艺与另一个工业废水处理工艺离婚回收利用
化学工业析出除氟
:利用多级钙盐悠长岁月中法,密切配合高效能悠长岁月中池
高级工程师脱色工作
:臭氧杀菌催化剂的作用脱色化学降解难净化处理化学物质物
膜浓缩造成设计
:通过DTRO碟管式反固化,浓缩提炼质数和合数为10倍
蒸发掉成果
:MVR自动化设备蒸汽发生器再降低减压蒸馏器治理浓水
变干系统软件
:将成果盐皮肤干燥后用于工艺副成品外售
清理效率
系统性运动数据表格凸显:
氟化物删去率>99.9%,出液氟铁离子<1mg/L
COD总除掉率>98%,出水量COD<20mg/L
水产品收废率>95%,仅引起少量出成果盐
年均回收塑料处理高的品质造纸废水处理水约6万吨
成果盐色度完成化工业级标准规范,实现目标资原化通过
工程往往做到了电镀废水零释放,还经由产品收购 创作了约80千元/年的上限报酬率。